这套近紫外镜头覆盖光谱从360nm开始到700nm, 特别适合激光器365nm, 目前是国内唯一无掩膜光刻晶圆产品供应商。产品透过率高,成像清晰。广泛应用于各类芯片半导体等工业领域。
放大倍数 Magnification | 规格型号 Model | 数值孔径 NA | 工作距离 WD(mm) | 焦距 f’ (mm) | 分辨率 R (μm) | 焦深 DF (μm) | 物方视场 on object (mm) | 像方视场 on image (mm) | 螺纹尺寸 Screw |
20x | NUV-20X | 0.32 | 23.9 | 10 | 0.70 | 2.17 | 1.3 | 26.0 | M26 |
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