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我们在设计并加工一套266nm镜头的经验基础上，又设计了一套193nm的极紫外成像镜头，其参数如表格所示。
（我们也接受客户的委托设计其它光谱的光学系统，比如157nm, 121nm等）
这套193nm镜头，是我们的最新的设计。逐步投入生产，推向市场。我们也接受客户定制其它非标准类光学系统。
放大倍数 Magnification | 规格型号 Model | 数值孔径 NA | 工作距离 WD(mm) | 焦距 f’ (mm) | 分辨率 R (μm) 266nm | 焦深 DF (μm) 266nm | 物方视场 on object (mm) | 像方视场 on image (mm) | 螺纹尺寸 Screw |
10x | EUV010X | 0.30 | 16.00 | 20.0 | 0.54 | 2.95 | 2.00 | 20 | 0.8” |
20x | EUV020X | 0.35 | 12.00 | 10.0 | 0.45 | 2.05 | 1.00 | 20 | 0.8” |
50x | EUV050X | 0.40 | 8.00 | 4.0 | 0.38 | 1.50 | 0.40 | 20 | 0.8” |
50x | EUV650X | 0.60 | 4.00 | 4.0 | 0.27 | 0.73 | 0.40 | 20 | 0.8” |
50x | EUV750X | 0.70 | 3.00 | 4.0 | 0.23 | 0.54 | 0.40 | 20 | 0.8” |
80x | EUV080X | 0.90 | 2.00 | 2.5 | 0.18 | 0.20 | 0.25 | 20 | 0.8” |
100X | EUV880X | 0.82 | 2.50 | 2.0 | 0.24 | 0.40 | 0.20 | 20 | 0.8” |
100X | EUV100X | 0.90 | 2.00 | 2.0 | 0.18 | 0.20 | 0.20 | 20 | 0.8” |
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